CMUでのモニタ精度は下記2つのレジスタと計算式により上限と下限の設定が可能です。
High-frequency reference register A (CMU_HFREFR_A)
(HFREF_A/16) × (FIRCOSC_CLK/4).
Low-frequency reference register A (CMU_LFREFR_A)
(LFREF_A/16) × (FIRCOSC_CLK/4).
ただしPLLのカウント計測する基準時間はFIROSC_CLK(16MHz)を基準にして計測するため+/-1% 程度分の差分を加味してください。
12.3.3 High-frequency reference register A (CMU_HFREFR_A)
12.3.4 Low-frequency reference register A (CMU_LFREFR_A)